又來15萬噸/年!電子級氫氟酸掀起擴產熱潮!
四川永晶新材料有限公司擬在沿灘高新技術產業園區新材料產業園投資50000萬元,建設年產15萬噸電子級氫氟酸及0.5萬噸電子級氟化銨溶液生產線。
電子級氫氟酸可被分為EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等級別,其中UP-SSS級別(相當于SEMI G5質量標準,金屬雜質要求≤10ppt)的氫氟酸純度最高,是12寸晶圓及更高規格的電子半導體產品制造環節必須用到的關鍵材料。
據不完全統計,我國電子級氫氟酸生產企業約十幾家,產品級別集中在UP-S及以下,能夠達到半導體所用G5級的企業僅有幾家,其中已投產的主要是多氟多、湖北興力電子、中巨芯、濱化股份。
多氟多目前擁有電子級氫氟酸產能5萬噸/年,其中G5級別為1萬噸/年,目前在建3萬噸/年產能(UPSSS),計劃2023年建成投產。
濱化股份的電子級氫氟酸項目于2018年7月開始試生產,產品達到G5等級要求。根據2021年年報,濱化股份電子級氫氟酸產能為6000噸/年。
湖北興力電子是興發集團成員企業,引進臺灣僑力公司電子級氫氟酸等技術,在園區建設3萬噸/年電子級氫氟酸項目,該項目一期于2021年上半年投產,產能為1.5萬噸/年,產品可以達到G5級別,已通過國內外部分高端市場客戶的測試,實現批量供應。
中巨芯是巨化股份旗下公司,其3萬噸/年ppt電子級氫氟酸擴建裝置于2022年順利投料試車,產品達到G5級別。